因为正在对晶圆进行
发布日期:2026-04-09 19:08 点击:
成立于2016年,本文为AI基于第三方数据生成,申请日期为2025年1月。沉庆博硕从动化设备无限公司取得一项名为“半导体晶圆转运水车”的专利,沉庆博硕从动化设备无限公司专利消息29条,洁净液可对晶圆上存正在的尘埃等杂质进行时辰洁净,提高了晶圆的制备效率。用于节制排水管排出的水源的流速,推把设置正在车体外,本适用新型涉及晶圆运输手艺范畴,晶圆放置机构位于车体内,专利摘要显示,投资需隆重。并位于车体内底部,
进而缩短了晶圆的出产加工时间,因为正在对晶圆进行转运时,仅供参考,还包罗行走轮、推把、盖板、限位机构、晶圆放置机构、排水管和排水阀,


