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具有精度高、体积小、承载机能好、靠得住性高

发布日期：2026-02-08 15:40 点击：

　　实现了高效共同，丈量精度达到了亚微米级。中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台，

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